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isolante Bush (Fonte Per trasversale del fascio Ion)
Sistema di controllo superiore, macchina di rivestimento sottovuoto
CENTRAGGIO ANELLO CON ANELLO ESTERNO
Alto Vuoto collegamento DN 160 ISO-K Fore vuoto di collegamento DN 40 KF Velocità di pompaggio di diffusione Pompa 1100 I / S Con deflettore BFA ... W / L 620 I / S Con deflettore BFA ... W / L 580 I / S Con BFA ... M / MF e piastra valvole 425 I / S Per vapore acqueo con LN2 raffreddamento 2700 3 fasi 380v / 50Hz
portata nominale del volume a 50 ~ 38m3 / h Portata volumetrica a 50 Hz, ~ 34m3 / h ultimo Pressione Parziale, senza zavorra gas <1x10-4 mbar Totale, senza zavorra gas <2x10-3mbar Parziale, con il gas di zavorra <1 x 10-3 mbar Total, con il gas di zavorra <2 x 10-3 mbar
tasso nominale Volume Portata a 50 Hz, ~ 38m3 / h Portata volumetrica a 50 Hz, ~ 34m3h ultimo Pressione Parziale, senza zavorra gas <2x10-2 mbar Totale, senza zavorra gas <3x10-2mbar Parziale, con reattore a gas <1 mbar Total, con reattore a gas <1 mbar
gamma -Misura: 2 x E-9 a 1 x E-2 mbar Temperatura -Bakeout: 150 ° C (302 ° F) con elettronica rimossi -Precisione: +/- 30% (da 1 x E-8 a 1 x E-3 mbar) -Reproducibility: +/- 5% (da 1 x E-8 a 1 x E-3 mbar) Uscita Segnale-: 0 -10.5V Tensione -Fornitura: 15 - 30VDC -FPM sigillato
Tasche 04 (15 cc ciascuna) Acqua raffreddata Alimentazione elettrica Potenza ~ 6KW Alta tensione gamma -6KV a -10KV XY movimento della posizione 10 millimetri Pressione di esercizio ~ 7 x 10-4 a 1 x 10-6 m bar
HiPace 400; DN 100 ISO-K; TC 400; DCU 400; cavo rete; cavo di collegamento; aria condizionata; chiavetta USB (software TurboViewer)
